千葉工業大学 工学部 電気電子工学科

教員紹介

小田 昭紀 教授 
博士(工学)(北海道大学)

プロフィール

小田 昭紀

略歴
秋田大学鉱山学部電気工学科卒業
北海道大学大学院工学研究科博士後期課程修了
名古屋工業大学(2001年4月〜2011年3月)
千葉工業大学(2011年4月〜)
自己紹介

秋田県出身.これまで,秋田,盛岡,札幌,名古屋とそれぞれの地方の特色を感じながら幼少時代から学生時代,そして教員時代を過ごし,縁あって2011年4月から本学でお世話になることになりました.現在は研究室立ち上げの段階ですが,そんな中でも教育および研究活動を頑張っています.関東圏での生活は今回が初めてですので,千葉のことをこれからいろいろ学んでいきたいです.

趣味・特技
映画鑑賞
受験生の皆さんへ
大学での生活(学部なら4年間,大学院なら6年間)は,社会に出る直前の大事な時期です.皆さんのやる気次第で面白くもつまらなくもなります.明確でなくて構いませんから「自分は今後どうありたいか」「それに向けて大学で何を学びたいか」を考えてみてください.それが,勉学のみならず私生活も含めた大学生活を充実させる第一歩です.

専門

  • 放電物理
  • プラズマエレクトロニクス

キーワード

  • 気体放電
  • 低温プラズマ
  • 非平衡大気圧プラズマ
  • ナノカーボン材料
  • エキシマランプ
  • プラズマ医療
  • シミュレーション

研究内容

プラズマは「物質の第四の状態」と呼ばれており,固体(例えば,氷),液体(水),気体(水蒸気)の次の状態として位置づけられ,「プラスとマイナスの電荷がほぼ同数入り交じった電気を通す気体」を表します.放電現象を通じて生成されたプラズマ(放電プラズマ)のもつ様々な特徴をうまく利用して,蛍光灯やプラズマテレビ,脱臭・消臭機能をもった冷蔵庫やエアコン,そしてPCや携帯電話,音楽プレーヤーなどの電子機器に使用される半導体製造技術など,我々の生活を快適に営むための基盤技術としてプラズマが利用されています.

本研究室では,この放電プラズマを研究対象に,実際にプラズマを発生させてプラズマの特性を調べる実験研究および,プラズマを適切にモデル化し,プログラムを作成して計算させることでプラズマの特性を調べる計算機シミュレーション研究の2種類の研究にと通じて,上述した放電プラズマ応用技術の更なる効率向上や制御性の改善に向けた基礎研究を行っています.

以下に,本研究室での行われている代表的な実験研究およびシミュレーション研究のいくつかを紹介します.


小田 昭紀


小田 昭紀


小田 昭紀


小田 昭紀

2018年

学術論文、国際会議Proc.(査読あり)
  1. K. Hattori, T. Ohta, A. Oda, and H. Kousaka,“Noncontact measurement of substrate temperature by optical low-coherence interferometry in high-power pulsed magnetron sputtering”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.57, 01AC03(5 pages) (2018.1)
学会発表
  1. 大木一真,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之:「炭素材料創製用非平衡大気圧炭化水素プラズマのシミュレーション」, 20a-C204-4 (2018.3)
  2. 永井 雅之,大野 祐也,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之:「Si含有DLC成膜用TMSプラズマの診断-プラズマ基礎特性のガス圧力依存性-」, 平成30年 電気学会全国大会 1-069 (2018.3)
  3. 小川 慎,大野 祐也,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之:「質量分析器によるDLC成膜用メタンプラズマの診断」, 平成30年 電気学会全国大会, 1-070 (2018.3)
  4. 小嶋 正宏,,大木 一真,小森 恭平,小田 昭紀:「大気圧高周波Heプラズマにおける放電モードの遷移メカニズムに関する数値解析」, 平成30年 電気学会全国大会 1-085 (2018.3)
科学研究費
  1. 科学研究費補助金「硬質炭素膜の超高速成膜と超低摩擦の両立に向けた学術基盤の構築」 基盤研究(B)(一般)分担
その他外部獲得資金
  1. 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業「マイクロ領域/マクロ領域における複合的プローブ技術の開発に関する研究」分担
その他
  1. 電気学会 平成30年全国大会グループ委員会 1グループ委員
  2. 電気学会 放電・プラズマ気相シミュレーション技法調査専門委員会 幹事
  3. 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 幹事
  4. 表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会 幹事
  5. 表面技術協会 学術委員会 委員

2017年

著書
  1. わかりやすい電磁気学 脇田 和樹, 小田 昭紀, 清水 邦康 ムイスリ出版株式会社 (2017.5)
学術論文、国際会議Proc.(査読あり)
  1. 小森 郷平,小田 昭紀:「高周波駆動型非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす不純物N2濃度の影響」, 電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌), Vol.137, pp.570-576 (2017.10)
学会発表
  1. 大野 祐也,小田 昭紀:「DLC成膜用Ar/CH4プラズマの診断-プラズマ基礎特性のガス流量依存性-」, 平成29年電気学会 基礎・材料・共通部門大会(A部門大会), 19-P-15 (2017.9)
  2. 大木一真,小田 昭紀,太田 貴之,上坂 裕之:「炭素薄膜成膜用非平衡大気圧He/H2/CH4プラズマのシミュレーション」, 2017年 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 7p-A413-2 (2017-9)
  3. 永井 雅之,小田 昭紀:「DLC成膜用炭化水素プラズマの診断 -プラズマ基礎特性のガス圧力及びガス流量依存性-」,2017年度 電気学会東京支部主催第8回学生研究発表会(2017.9)
  4. 小嶋 正宏,小田 昭紀:「大気圧非平衡プラズマのシミュレーション及び基礎特性の解析」,2017年度 電気学会東京支部主催第8回学生研究発表会(2017.9)
  5. 小川 慎,小田 昭紀:「RF低圧Ar/CH4プラズマの診断」,2017年度 電気学会東京支部主催第8回学生研究発表会(2017.9)
  6. 大野祐也,小田昭紀:「質量分析及びプローブによるDLC成膜用炭化水素プラズマの診断」,平成29年電気学会全国大会,E33-B1 1-109 (2017.3)
  7. 大木一真,小田昭紀:「DLC成膜用炭化水素プラズマ基礎特性に及ぼす希釈Arガスの影響」,平成29年電気学会全国大会,E33-B1 1-108 (2017.3)
  8. 深井駿,大野裕也,小田昭紀:「DLC成膜用Ar/CH4プラズマの質量分析およびプローブ診断」,2017年 第64回応用物理学会秋季学術講演会, 14p-P1-7 (2017.3)
  9. 小森郷平,小田昭紀:「非平衡大気圧Heグロー放電の基礎特性と径方向均一性に及ぼす不純窒素ガス濃度の影響」,2017年 第64回応用物理学会秋季学術講演会,17p-315-3 (2017.3)
科学研究費
  1. 科学研究費補助金「硬質炭素膜の超高速成膜と超低摩擦の両立に向けた学術基盤の構築」 基盤研究(B)(一般)分担
その他外部獲得資金
  1. 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業「マイクロ領域/マクロ領域における複合的プローブ技術の開発に関する研究」分担
その他
  1. 電気学会 平成30年全国大会グループ委員会 1グループ委員
  2. 電気学会 平成29年全国大会グループ委員会 1グループ委員
  3. 電気学会 放電・プラズマ気相シミュレーション技法調査専門委員会 幹事
  4. 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 幹事
  5. プラズマ・核融合学会 プログラム編集委員会 委員(APPグループ)
  6. 表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会 幹事

2016年

著書
  1. ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用 表面技術協会 編 コロナ社 (2016.12)
学会発表
  1. 大野祐也,深井駿,小田昭紀:「発光分光及び質量分析による容量結合型RF窒素プラズマの診断」,放電学会年次大会,P-12(2016.11)
  2. 大木一真,小田昭紀:「DLC成膜用低圧高周波炭化水素プラズマのシミュレーション -基板への入射粒子フラックスに関する検討-」,放電学会年次大会,2-4 (2016.11)
  3. Kyohei Komori, Akinori Oda, Takeshi Uruma, Nobuo Satoh and Hidekazu Yamamoto, "Investigation on the Surface Potential and the Depletion Layer of Si-Schottky Barrier Diode -Evaluation by Scanning Probe Microscopy-", The 19th International Conference on Electrical Machines and Systems, DS4G-2-2 (2016.11)
  4. Takeshi Uruma, Nobuo Satoh, Kyohei Komori, Akinori Oda and Hidekazu Yamamoto, "Investigation on the Surface Potential and the Depletion Layer of Si-Schottky Barrier Diode -Evaluation by Numerical Calculation-", The 19th International Conference on Electrical Machines and Systems, DS4G-2-1 (2016.11)
  5. 大木一真,小田昭紀:「ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマの二次元流体シミュレーション」,電気学会 プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会, PST-16-081/PPT-16-061/ED-16-177 (2016.10)
  6. 深井駿,大野裕也,小田昭紀:「四重極質量分析法によるダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの診断」,プラズマ/パルスパワー/放電研究会,PST-16-082/PPT-16-062/ED-16-178 (2016.10)
  7. 山本秀和,小森郷平,小田昭紀,潤間威史,佐藤宣夫:「パワーデバイス内部の空乏層の評価(2)数値計算との比較パワーデバイス用結晶の評価(XX)」,2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会,15p-A23-4 (2016.9)
  8. 山本秀和,潤間威史,佐藤宣夫,小森郷平,小田昭紀:「パワーデバイス内部の空乏層の評価(1)多機能走査型プローブ顕微鏡による評価(XIX)」,2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会,15p-A23-3 (2016.9)
  9. 小森郷平,小田昭紀:「誘電体材料特性が大気圧He/N2グロー放電基礎特性に及ぼす影響」,電気学会 基礎・材料・共通部門大会,5-E-p2-2 (2016.9)
  10. Akinori Oda, Kazuma Ohki, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta, "Axially-symmetric Three-Dimensional Fluid Modelling of Capacitively-Coupled Radio-Frequency TetraMethylSilane Plasmas for Silicon-containing Diamond-Like Carbon Thin-Films Deposition", 15th International Conference on Plasma Surface Engineering, PO4014 (2016.9)
  11. 大野祐也,小田昭紀:「DLC成膜用炭化水素プラズマ質量分析」,2016年度 電気学会東京支部第7回学生研究発表会,5-12(2016.8)
  12. 小田昭紀,小森郷平:「非平衡大気圧ヘリウムプラズマのシミュレーション-誘電体特性がプラズマ基礎特性に及ぼす影響-」,電気学会プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会,PST-16-003/PPT-16-003-052/ED-16-030 (2016.5)
  13. 大木一真,小田昭紀:「ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマのシミュレーション」,平成28年電気学会全国大会,A103-A4 1-054 (2016.3)
  14. 深井駿,小田昭紀,上坂 裕之,太田 貴之:「質量分析によるDLC成膜用Ar/CH4プラズマの診断」,2016年 第63回応用物理学会秋季学術講演会,21p-P2-3 (2016.3)
  15. 小森郷平,小田昭紀:「非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性と温度上昇に及ぼす誘電体材料の影響」,電気学会放電研究会,ED-16-024 (2016.3)
科学研究費
  1. 科学研究費補助金「大気圧プラズマ支援CVDによるナノカーボン材料創製技術の最適化に関する基礎的研究」 基盤研究(C)代表
  2. 科学研究費補助金「硬質炭素膜の超高速成膜と超低摩擦の両立に向けた学術基盤の構築」 基盤研究(B)(一般)分担
その他外部獲得資金
  1. 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業「マイクロ領域/マクロ領域における複合的プローブ技術の開発に関する研究」分担
その他
  1. 電気学会 ICEMS2016実行委員会 委員
  2. 電気学会 平成29年全国大会グループ委員会 1グループ委員
  3. 電気学会 平成28年全国大会グループ委員会 1グループ主査
  4. 電気学会 放電・プラズマ気相シミュレーション技法調査専門委員会 幹事
  5. 応用物理学会 プログラム編集委員会 委員(中分類8.7)
  6. 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 幹事
  7. プラズマ・核融合学会 プログラム編集委員会 委員(APPグループ)
  8. 表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会 幹事

2015年

学術論文、国際会議Proc.(査読あり)
  1. A. Oda and K. Komori,“Influence of dielectric materials on radial uniformity in non-equilibrium atmospheric pressure helium plasma”, Proc. of International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9)/Gaseous Electronics Conference (GEC 2015), LW1.00062 (2015.10)
  2. A. Oda, S. Fukai, H. Kousaka and T. Ohta,“Diagnostics of capacitively-coupled hydrocarbon plasmas for deposition of diamond-like carbon films using quadrupole mass spectrometry and Langmuir probe”, Proc. of International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9)/Gaseous Electronics Conference (GEC 2015), GT1.00074 (2015.10)
  3. Y. Suda, R. Yamashita, K. Yusa, T. Harigai, H. Takikawa, A. Oda and R. Tero,“Measurement of the diffusion coefficient of supported lipid bilayer irradiated with dielectric barrier discharge”, Proc. of International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9)/Gaseous Electronics Conference (GEC 2015), WF4.00006 (2015.10)
  4. T. Ohta, K. Hattori, A. Oda, and H. Kousaka,“Non-contact temperature measurement of silicon substrate in sputtering plasma using optical interferometer”, Proc. of International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-9)/Gaseous Electronics Conference (GEC 2015), GT1.00160 (2015.10)
  5. A. Oda and H. Kousaka,“Numerical Analysis of Substrate-Incident Carbon Flux in Low-Pressure Radio-Frequency CH4 Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films”, Electronics and Communications in Japan, Vol.98, No.9, pp.31-39 (2015.9)
  6. Yoshiyuki Suda, Akinori Oda, Ryo Kato, Ryuma Yamashita, Hideto Tanoue, Hirofumi Takikawa, and Ryugo Tero,“Computational study of temporal behavior of incident species impinging on a water surface in dielectric barrier discharge for the understanding of plasma-liquid interface”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.54, 01AF03 (2015.1)
学会発表
  1. 大木一真,小田昭紀: 「容量結合型高周波アルゴンプラズマのシミュレーション -プラズマ特性に及ぼすブロッキングコンデンサの影響-」,放電学会年次大会,P-3 (2015.12)
  2. Akinori Oda and Kyohei Komori, "Influence of Dielectric Materials on Radial Uniformity in Non-Equilibrium Atmospheric Pressure Helium Plasma", 9th Internetional Conference on Reactive Plasmas/68th Gaseous Electronics Conference/33rd Symposium on Plasmas Processing, LW1.00062 (2015.10)
  3. Akinori Oda and Fukai Shun, "Diagnostics of Capacitively-Coupled Hydrocarbon Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films using Quadrupole Mass Spectrometry and Langmuir Plobe", 9th Internetional Conference on Reactive Plasmas/68th Gaseous Electronics Conference/33rd Symposium on Plasmas Processing, GT1.00074, (2015.10)
  4. 深井駿,小田昭紀,上坂 裕之,太田 貴之:「ダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの質量分析およびプローブ診断」,2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会,15p-PB2-3 (2015.9)
  5. 小森郷平,小田昭紀:「非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性に与える誘電体の影響解析」,電気学会 基礎・材料・共通部門大会,18-D-a2-3 (2015.9)
  6. 大木一真,小田昭紀:「容量結合型高周波アルゴンプラズマのシミュレーション -プラズマ特性に及ぼす外部パラメータの影響-」,電気学会東京支部第6回学生研究発表会,No13 (2015.8)
  7. 深井駿,小田昭紀:「ダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの質量分析およびプローブ測定」,私立大学戦略的研究基盤形成支援事業シンポジウム,P-13 (2015.8)
  8. 小森郷平,大木一真,小田昭紀:「非平衡大気圧ヘリウムプラズマの軸対称3次元流体モデリング-プラズマの径方向均一性に及ぼす誘電体特性の影響-」,私立大学戦略的研究基盤形成支援事業シンポジウム,P-12 (2015.8)
  9. 小森郷平,小田昭紀:「軸対称3次元流体モデルによる非平衡大気圧ヘリウムプラズマのシミュレーション」,電気学会プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会,PST-15-034/ED-15-052/PPT-15-034 (2015.6)
  10. 小森郷平,小田昭紀:「容量結合型非平衡大気圧He/N2プラズマの軸対称3次元流体モデリング」,平成27年電気学会全国大会,1BC-C4 (2015.3)
科学研究費
  1. 科学研究費補助金「大気圧プラズマ支援CVDによるナノカーボン材料創製技術の最適化に関する基礎的研究」 基盤研究(C)代表
共同研究・受託研究など
  1. 受託研究「高密度・近接プラズマによる1ピースフロー型・超高速・三次元DLC成膜装置の開発」 NEDO 平成23年度 先導的産業技術創出事業 分担
その他外部獲得資金
  1. 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業「マイクロ領域/マクロ領域における複合的プローブ技術の開発に関する研究」分担
その他
  1. 電気学会 ICEMS2016実行委員会 委員
  2. 電気学会 平成28年全国大会グループ委員会 1グループ主査
  3. 電気学会 平成27年全国大会グループ委員会 1グループ幹事
  4. 電気学会 放電・プラズマ気相シミュレーション技法調査専門委員会 幹事
  5. 応用物理学会 プログラム編集委員会 委員(中分類8.6/8.7)
  6. プラズマ・核融合学会 プログラム編集委員会 委員(APPグループ)
  7. 表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会 幹事

2014年

学術論文、国際会議Proc.(査読あり)
  1. Takayuki Ohta, Yusuke Sago, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka,
    “Diagnostics of Metastable Ar Atom with Diode Laser Absorption Spectroscopy in RF Magnetron Carbon Sputtering Plasma”, Proceedings of 2014 MRS Fall Meeting & Exhibit, G5.08 (2014.12)
  2. Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta,
    “Computational Study on Fundamental Properties in Capacitively-Coupled Radio-Frequency Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Film Coatings”, Proceedings of 2014 MRS Fall Meeting & Exhibit, G5.02 (2014.12)
  3. Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta,
    “Numerical Simulation on Spatiotemporal Behavior of Charged-Species in Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating”, Proceedings of Plasma Conference 2014 (PLASMA2014), 20PA-041 (2014.11)
  4. Haruaki Akashi, Tomokazu, Yoshinaga, Akinori Oda,
    “Recovery Mechanisms of Ozone Zero Phenomena by Adding Nitrogen and Nitrogen Monoxide in Atmospheric Pressure Oxygen Dielectric Barrier Discharges”, IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials, Vol.134, No.7, pp.460-465 (2014.7)
  5. 明石治朗,吉永智一,小田昭紀,
    「二次電子放出係数が大気圧酸素誘電体バリア放電に与える影響について」
    電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌),Vol.134,No.6,pp.410-415(2014年6月)
  6. 小田昭紀,上坂裕之,
    「ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波CH4プラズマにおける基板への入射炭素フラックスに関する数値解析」
    電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌),Vol.134,No.1,pp.53-59(2014年1月)
学会発表
  1. 深井駿,小田昭紀:「プローブおよび質量分析による高周波容量結合型プラズマの診断」,放電学会年次大会,P-14 (2014-12)
  2. 小森郷平,小田昭紀:「高周波大気圧グロー放電プラズマの軸対称3次元流体モデリング」,放電学会年次大会,P-13 (2014.12)
  3. 深井駿,小田昭紀:「プローブ法による容量結合型RF放電プラズマの診断」,電気学会東京支部第5回学生発表会,No.5 (2014.9)
  4. 小森郷平,小田昭紀:「容量結合型RFアルゴンプラズマの軸対称3次元流体モデリング」,電気学会東京支部第5回学生研究発表会,No.7 (2014.9)
科学研究費
  1. 科学研究費補助金「大気圧プラズマ支援CVDによるナノカーボン材料創製技術の最適化に関する基礎的研究」 基盤研究(C)代表
共同研究・受託研究など
  1. 受託研究「高密度・近接プラズマによる1ピースフロー型・超高速・三次元DLC成膜装置の開発」 NEDO 平成23年度 先導的産業技術創出事業 分担
その他外部獲得資金
  1. 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業「マイクロ領域/マクロ領域における複合的プローブ技術の開発に関する研究」分担
その他
  1. 電気学会 論文委員会(A2グループ)主査
  2. 電気学会 平成27年全国大会グループ委員会 1グループ幹事
  3. 電気学会 平成26年全国大会グループ委員会 1グループ委員
  4. 電気学会 放電・プラズマ気相シミュレーション技法調査専門委員会 幹事
  5. 電気学会 原子・分子衝突断面積および放電基礎パラメータ調査専門委員会 委員
  6. 電気学会 液界面プラズマの実験・計算モデル標準化調査専門委員会 委員
  7. 応用物理学会 プログラム編集委員会 委員(中分類8.6)
  8. ドライプロセス国際シンポジウム(DPS 2014) 現地実行委員会 委員
  9. 表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会 幹事

2013年

著書
  1. 現代電気電子材料 山本秀和、小田昭紀 コロナ社 9月13日
学術論文、国際会議Proc.(査読あり)
  1. H. Akashi, T. Yoshinaga, A. Oda,
    “Recovery mechanism of ozone generation by adding nitrogen in atmospheric pressure dielectric barrier discharges”
    Proc. of the 31st International Conference on Phenomena in Ionized Gases, PS2-030 (4 pages) (2013.7)
  2. M. Shinohara, Y. Takami, S. Takabayashi, A. Oda, Y. Matsuda, H. Fujiyama,
    “Evolution of Hydride Components Generated by Hydrogen Plasma Irradiation of a Si(110) Surface Investigated With In Situ Infrared Absorption Spectroscopy in Multiple Internal Reflection Geometry”
    IEEE Trans. Plasma Sci., Vol. 41, No. 8, pp.1878-1883 (2013.8)
  3. A. Oda, Y. Hirano, K. Ishii,
    “Computational Study on Influence of N2 Addition on Discharge Characteristics of AC PDPs in Xe/Ne Gas Mixture”,
    Proc. of the 20th International Display Workshops (IDW’13), PDP1-3 (4 pages) (2013.12)
科学研究費
  1. 科学研究費補助金「大気圧プラズマ支援CVDによるナノカーボン材料創製技術の最適化に関する基礎的研究」 基盤研究(C)代表
  2. 科学研究費補助金「粒子輸送と熱的作用を考慮したプラズマと物質の相互作用ダイナミクスの解析」新学術領域研究(研究領域提案型)分担
共同研究・受託研究など
  1. 受託研究「高密度・近接プラズマによる1ピースフロー型・超高速・三次元DLC成膜装置の開発」 NEDO 平成23年度 先導的産業技術創出事業 分担
  2. 受託研究「低温焼き戻し鋼に対応したマイクロ波方式・超高速DLC成膜プロセスの開発」 JST 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 分担
その他外部獲得資金
  1. 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業「マイクロ領域/マクロ領域における複合的プローブ技術の開発に関する研究」分担
その他
  1. 教科書執筆「現代 電気電子材料」 山本秀和,小田昭紀(コロナ社)
  2. 電気学会 論文委員会(A2グループ)主査
  3. 電気学会 編修専門第1部会 委員
  4. 電気学会 平成25年全国大会グループ委員会 1グループ委員
  5. 電気学会 パルスパワーおよび放電の農水系利用調査専門委員会 委員
  6. 電気学会 液界面プラズマの実験・計算モデル標準化調査専門委員会 委員
  7. 電気学会 原子・分子衝突断面積および放電基礎パラメータ調査専門委員会 委員
  8. 電気学会 高密度・高電離度金属プラズマの発生と利用技術調査専門委員会 委員
  9. 応用物理学会 プログラム編集委員会 委員(中分類8.6)

2012年

学術論文、国際会議Proc.(査読あり)
  1. A. Oda and Y. Hirano,
    “Influence of Nitrogen Addition on Fundamental Discharge Properties in Alternating Current Plasma Display Panels”,
    Electronics and Communications in Japan, Vol. 95, No. 10, pp.37-43 (2012)
  2. H. Akashi, T. Yoshinaga and A. Oda,
    “Effect of secondary electron emission on atmospheric pressure oxygen dielectric barrier discharges”,
    Proc. of XXI Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG), P1.10.10, 2 pages (2012)
  3. Numerical Simulation on Fundamental Properties in Low-Pressure Radio- Frequency CH4 Plasmas for Diamond-Like Carbon Films
    A. Oda and H. Kousaka,
    Proc. of XXI Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG), P2.8.8, 2 pages (2012)
科学研究費
  1. 科学研究費補助金「大気圧プラズマ支援CVDによるナノカーボン材料創製技術の最適化に関する基礎的研究」 基盤研究(C)代表
  2. 科学研究費補助金「粒子輸送と熱的作用を考慮したプラズマと物質の相互作用ダイナミクスの解析」新学術領域研究(研究領域提案型)分担
共同研究・受託研究など
  1. 受託研究「プラズマシミュレーションの研究」 浜松ホトニクス株式会社 代表
  2. 受託研究「高密度・近接プラズマによる1ピースフロー型・超高速・三次元DLC成膜装置の開発」 NEDO 平成23年度 先導的産業技術創出事業 分担
  3. 受託研究「低温焼き戻し鋼に対応したマイクロ波方式・超高速DLC成膜プロセスの開発」 JST 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 分担
その他
  1. 電気学会 論文委員会(A2グループ)副主査
  2. 電気学会 編修専門第1部会 委員
  3. 電気学会 原子・分子衝突断面積および放電基礎パラメータ調査専門委員会 委員
  4. 電気学会 液界面プラズマの実験・計算モデル標準化調査専門委員会 委員
  5. 電気学会 平成24年全国大会グループ委員会 1グループ委員
  6. 電気学会 高密度・高電離度金属プラズマの発生と利用技術調査専門委員会 委員
  7. 平成25年電気学会全国大会論文グループ委員会 1グループ委員
  8. 応用物理学会学術講演会プログラム編集委員会 委員(中分類8.6)