教員紹介

杉浦 修 教授 
工学博士(東京工業大学)

プロフィール

杉浦修

略歴
東京工業大学,千葉工業大学(2005〜)
自己紹介

はんだごてを使う電子工作が大好きです。ゲルマニウムラジオを手始めに,小学生から大学生までの期間に,真空管アンプからマイクロコンピュータまで作りました。やはり実物を作ってみて理解できる知識・体験には得がたいものがあります。現在も研究で使う計測器類は「自作できるものは自作する」方針で揃えています。

大学生時代は薄膜トランジスタや結晶成長技術・絶縁膜形成技術などのプロセス技術に関して研究してきました。現在は配線技術・集積システムについて研究しています。

趣味・特技
ハンダゴテを使う工作(ラジオ,アンプ,コンピュータなんでもOK),弓道(弐段)

専門

  • 集積システム配線技術

キーワード

  • デバイス
  • ナノテクノロジー
  • 薄膜

研究内容

「トランジスタ配線しなけりゃただの石」をモットーに集積回路チップ内・チップ間の配線について研究しています。現在,配線の研究はトランジスタの研究に匹敵する重要な課題です。(トランジスタ以上といっても過言ではないでしょう。)研究室には「電気・電子」から想像できる測定器だけでなく,化学薬品を取り扱うドラフタなどがあり,無電解めっき技術を駆使して配線形成の実験を行っています。SysteminPackage(SiP)に新風を吹き込んで"MorethanMoore"を実現したいと考えています。

「電気・電子」よりも「化学」を連想する設備類

レーザ加工装置(高段差配線を実現する決め手)

受験生の皆さんへ

半導体プロセスの研究に従事していると電気・電子だけでなく化学の知識も重要だと実感しています。「知識」というより「常識」と表現したほうが正確かもしれません。それらは高校や中学で習っているような基本事項です。高校でしっかり基礎を学んでください。大学だけでなく社会でかならず役立ちます。